半导体工艺设备维修中风险辨识及应对措施研究
缪起点

厦门乾照光电股份有限公司，福建省厦门市，361000；

摘要：随着集成电路的发展，半导体工艺设备在集成电路生产中的地位日益凸显。半导体工艺设备在使用过程中，经常会出现故障问题，如果不能及时维修，不仅会影响芯片的生产质量，还会造成芯片报废的严重后果。在这种背景下，需要对半导体工艺设备维修中存在的风险进行识别，并提出针对性的应对措施，以提高维修质量。

关键词：半导体工艺设备；设备维修；风险辨识

参考文献

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