半导体晶圆厂OHT轨道系统振动特性分析与抑制技术研究

王海洋

苏州新施诺半导体设备有限公司，江苏苏州，215100；

摘要：文章聚焦半导体晶圆厂 OHT 轨道系统，先阐述其重要性，强调其对晶圆厂生产运营的关键支撑作用。接着深入分析振动特性，涵盖直线运行与转向工况，揭示不同运行状态下振动的表现形式与特点。最后针对振动问题开展抑制技术研究，提出优化轨道衔接结构，以减少因结构不合理产生的振动；改进天车转向控制算法，提升电机协调性，避免转向时出现“别劲”等情况，为保障 OHT 轨道系统稳定运行提供理论与技术支持。

关键词：半导体晶圆厂；OHT 轨道系统；振动特性；直线运行振动；冲击抑制

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