基于激光干涉仪的直线电机运动精度检测与误差补偿方法研究
张波 邵磊 邓运俊 何志鹏

日东智能装备科技（深圳）有限公司，广东深圳，518000；

摘要：针对直线电机进给系统的定位误差问题，本文提出了一套基于激光干涉仪的检测流程与误差补偿方法。通过改进XL-80激光干涉仪，包括环境补偿算法、高速采样系统、模块化光路设计等，实现了直线电机定位精度的显著提升。实验验证表明，该方法可将直线电机的重复定位精度提升至亚微米级，定位精度从补偿前的±38μm提升至±2.5μm，直线度误差从22.6μm降低至2.3μm。本研究的创新点在于结合直线电机特点，系统地研究了激光干涉仪在误差检测与补偿中的应用方法，为高精度直线电机的调试与优化提供了理论依据和技术支持。  

关键词：激光干涉仪；直线电机；定位精度；误差补偿；亚微米级

参考文献

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