国产半导体装备自动化改造的系统集成方法论

夏家奇

海宁跨界国际半导体制造有限公司，浙江嘉兴，314400；

摘要：随着“国产替代”战略的持续推进，半导体产业链上游的国产装备正在快速发展。然而，面对高精度、高稳定性、高洁净度要求的现代半导体工厂，国产装备在自动化、柔性化、智能化水平上仍存在一定短板，难以直接匹配现有工艺流程和工厂管理系统。本文聚焦于国产半导体装备的自动化改造，提出一种系统集成的方法论框架，涵盖控制架构标准化、通信协议融合、设备智能升级三个核心层面，系统分析改造路径与关键技术，结合实际案例探讨可行性和成效，以期为半导体制造环节中的设备国产化与系统集成提供理论参考与工程支撑。

关键词：半导体装备；自动化改造；系统集成；国产化；设备互联；智能制造

参考文献

[1]李天奎,冷卫杰,苏志军.多媒体通信与自动化控制集成通信的关联[J].中国宽带,2025,21(02):148-150.DOI:10.20167/j.cnki.ISSN1673-7911.2025.02.50.

[2]杨建明.集成电路技术在自动化控制系统优化中的应用[J].集成电路应用,2025,42(01):44-45.DOI:10.19339/j.issn.1674-2583.2025.01.016.

[3]肖振华.电气自动化系统的信息化集成与智能控制技术研究[J].中国信息界,2024,(08):219-221.

[4]汪琦.集成电路验证自动化现状及展望[J].软件和集成电路,2024,(08):2-7.DOI:10.19609/j.cnki.cn10-1339/tn.2024.08.002.

[5]温杏.持续集成中自动化测试的设计与实现[J].无线互联科技,2024,21(09):72-74.