ICP-MS检测粒状多晶硅中杂质元素  

董永鸽 王春静通讯作者  

陕西有色天宏瑞科硅材料有限责任公司，陕西省榆林市，719000；  

摘要：本文使用ICP-MS对粒状多晶硅中杂质元素进行检测，探索了粒状多晶硅前处理条件：使用HF挥硅处理，加入1ml2.5g/L甘露醇溶液抑制硼元素的损失，消解温度为170℃；确定了ICP-MS的主要工作参数和工作条件。确定了检测限，加标回收率及相对标准偏差（RSD）。该方法准确快速，易于操作。  

关键词：粒状多晶硅；ICP-MS；硼元素；杂质含量  

参考文献  

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