1南昌大学,江西省南昌市,330000;
2晶科能源(海宁)有限公司,浙江省海宁市,314000;
摘要:本文针对n型TOPCon太阳电池的接触电阻和效率提升问题,提出结合选择性发射极(SE)与隧穿氧化钝化接触(TOPCon)技术的优化方案。通过激光掺杂技术实现局部重掺杂,优化电极区域的欧姆接触,降低复合损失。实验表明,SE电池的开路电压(Voc)达0.737 V,短路电流密度(Jsc)为41.615 mA/cm²,填充因子(FF)为85.15%,最终转换效率达26.123%。研究揭示了激光功率对掺杂浓度、结深及钝化性能的显著影响,为工业化量产提供了关键技术支撑。
关键词:TOPCon太阳电池;选择性发射极;激光掺杂;钝化接触;转换效率
参考文献
[1]鲁贵林.N型高效晶体硅太阳电池关键技术研究[D];上海交通大学,2017.
[2]吕欣.TOPCon型N-PERT双面太阳电池工艺技术的研究[D];西安理工大学,2024.
[3]龙辉,赵志然,李明,etal.基于BCl3源的低压硼扩散设备及工艺研究[J].有色设备,2022,(002):036.
[4]王志学.隧穿氧化层钝化接触(TOPCon)结构的钝化和吸杂效应研究[D];江苏大学,2020.