ALD 装卸片机的模块化设计与快速维护技术的创新应用
谢一泽 吴汉民 聂魁宏

浙江晶盛机电股份有限公司，浙江省绍兴市，312300；

摘要：本文探讨了ALD（原子层沉积）装卸片机的模块化设计与快速维护技术的创新应用。通过模块化设计，实现了设备的标准化、系列化，提高了灵活性和可维护性。同时，快速维护技术的开发与应用显著缩短了维护时间，提高了维护效率，保障了设备的连续运行。本文详细分析了模块化设计与快速维护技术的原理、具体应用及集成效应，为半导体制造业的技术进步提供了有力支持。

关键词：ALD装卸片机；模块化设计；快速维护技术；设备灵活性

参考文献

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